微量气体流量计

微量气体流量计为实验室研发及精密制造设计。该系列产品采用层流压差技术，具备高的测量精度与灵敏度，能够精准捕捉微小流量的变化。  

其核心优势在于毫秒级的响应速度和宽量程比，支持质量流量、体积流量及压力的多参数实时显示。设备通常配备彩色触摸屏，操作直观，且支持多种通讯接口，便于集成到自动化系统中。凭借无移动部件的坚固设计，该流量计在半导体、真空镀膜等领域表现良好，是微量气体控制与监测的理想选择。

概述：

app于诸多(duo)OEM机环境(jing)，尤其要适用很小(xiao)流量的量测

支(zhi)持于管(guan)道煤(mei)气低(di)电压力、外泄各种测(ce)试的(de)低(di)流量的(de)、半导𓆉ও体设备(bei)等利(li)用

±15VDC供电(dian)系(xi)统(ꦗtong)效果不稳(wen)定性，0-5V模拟机(ji)数据更进(jin)一(yi)步普(pu)通

可(ke)私人(ren)定制0.02-1SCCM肺部(bu)结节影(ying)的流量(liang)

特点：

• 配发室温跟踪软件式直流电差验测型客流量感测器器，保证 高精确，高回复
• F.S.1 SCCM微联通流量帮助（SR应用设置）

 尺寸图：

使用注意事项：

一：进气给水管(guan)上(shang)提(ti)议怎么(me)安(an)装(zhuang)上(shang)的(de)过滤清洁器(qi)、油水量离分离法器(qi)运行，做到甲烷(wan)气体的(de)干燥的(de)清洁《环境湿(𒁏shi)度不(bu)少于(yu)90%(特定不(bu)可接触(chu)不(bu)良)、溶物煤尘(chen)不(bu)少于(yu)20廊坊(fang)可耐电器(qi)有限(xian)公司(si)》。

二：用洗洁剂粉(fen)水(shui)对内部管(gua⛦n)道来遗漏判(pan)断时，可以将洗洁剂粉(fen)水(꧑shui)喷药在(zai)内部管(guan)道直接头(tou)上，没(mei)办法喷在(zai)义表或电(dian)力设备插(cha)销上。

三：装前，请将机 压(ya)缩空气管道参(can)与整体的吹扫。

四：击穿电压1.0Mpa，国(guo)外大(da)压5干克。

五：需要进行零点漂移清零的时候，确认进/出口没流量没压力下 再操作。
 

微量气体流量计

性能参数： 

电器连接：