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| 产地 | 进口 | 加工定制 | 是 |
|---|---|---|---|
| 质保 | 1年 |
日本科赋乐金属密封式质量流量控制器
日本KOFLOC5400系列质量流量控制器-金属密封
金属密封,泄漏率1*10-11pa·m³/s以下
适用于高真空、半导体、剧毒、强腐蚀气体环境下
±15VDC供(gong)电性(xing)能稳(wen)定,0-5V模拟信号更加通用
日本科赋乐金属密封式质量流量控制器
性能参数
| 分度值(N2) | 10SCCM-20SLPM(除此之外50SLM |
| 准确度 | ±1.0%FS |
| 反复性 | ±0.2%FS |
| 崩溃日子 | 1秒之内 |
| 耐压试验 | 1.0Mpa |
| 进出口大工作压力 | O.3Mpa |
| 操作气体压力 | 0.05-0.3Mpa |
| 泄露率 | 1*10-11pa·m³/s有以下 |
| 温湿度位置 | 5-45℃ |
| 水分子含量条件 | 10-90%RH(不可以结霜) |
| 木头材质 | 核心SUS316L |
| 密封盖圈SUS316L、PTFE | |
| 高压电器接口方式 | DB9 |
| 模拟系统讯号 | 0-5V显示/輸出 |
| 供水 | +15VDC(±5%)100mA;-15VDC(±5%)100mA; |
| 液压管路对接 | 顶配1/4UJR |
| 配选1/8UJR | |
| 自重 | 约1000g |